氧化錫銦(ITO或者摻錫的氧化銦)是氧化銦(III) (In2O3)和氧化錫(IV) (SnO2)的混合物,按重量算,一般是90%的氧化銦In2O3和10%的氧化錫SnO2。
粉末狀的氧化錫銦(ITO)為黃綠色,但當(dāng)它被沉積成厚度為1000 – 3000埃的薄膜時(shí)是透明的。當(dāng)它沉積為玻璃或透明塑料上的薄膜時(shí),其功用就是透明導(dǎo)電體。?
氧化錫銦(ITO)一般通過物理氣相沉積工藝進(jìn)行沉積,如直流磁控濺射或電子束沉積。另外的做法是將氧化錫銦(ITO)用恰當(dāng)?shù)某赡じ叻肿訕渲腿軇┫到y(tǒng)融入墨水,用絲網(wǎng)印刷來沉積——這樣做的透明度和導(dǎo)電率比物理沉積工藝低。
在透明導(dǎo)電氧化物(TCO)中,氧化錫銦(ITO)是公認(rèn)的最佳TCO。它具有非常優(yōu)異的導(dǎo)電性、透明度和穩(wěn)定性,并且容易形成圖案從而用于制作透明電路。氧化錫銦(ITO)被用于多種顯示技術(shù),例如LCD、OLED、等離子體、電致發(fā)光和電致變色顯示器,以及大量的觸摸屏技術(shù)。?
這種多用途的材料功用不僅限于此,它還被應(yīng)用于抗靜電銦錫氧化物涂料、電磁(EMI)屏蔽、光伏太陽能電池、飛機(jī)擋風(fēng)玻璃、冷凍箱玻璃除霧等技術(shù)中。氧化錫銦(ITO)的應(yīng)用還包括紅外反射涂層,可以用在諸如低輻射玻璃和低壓鈉燈中反射熱能。
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